带有电子束蒸发技术的真空涂料系统，用于紫外线，可见，近乎和中期范围

使用示例：

• 抗反射涂料

• 梁拆分器

• 窄带通滤波器

• 高反射涂层

• 极化器

• 激光光学元件

• 各种基材上的红外涂料

• 紫外线涂料

功能和设备：

• 圆顶或行星基板支架

• 非标准基板的定制持有人

• 多达2个具有不同坩埚的电子束蒸发系统

• 电阻蒸发来源

• 各种类型的离子梁辅助源（ALS（阳极层等离子体加速源），末端霍尔离子源，RF离子源）

• 通过涂料光学参数的全自动过程控制系统

• 底物加热系统

技术设备：

• 电子梁蒸发系统

• 电阻蒸发系统

• RF离子梁的清洁和协助源

• 清洁和协助的ALS离子梁源

技术数据：