高精度光学元件的离子光束溅射系统

真空系统配备了RF离子梁溅射源，RF离子梁源清洁和辅助，RF中和器。宽带和单波光学监测系统允许以全自动模式执行技术过程，并显着增加系统的产量。使用干燥（无油）抽水系统，超高的真空座椅设计以及带有机器人臂的负载真空室，用于底层载荷，可以达到技术过程的预定纯度。

技术设备：

• RF离子梁溅射来源

• 用于清洁和协助的RF离子梁源

• RF中和

使用示例：

• 高功率激光镜

• 带通滤波器

• Notch过滤器

• 偏光剂

• 梁拆分器

• 破烂过滤器

• 宽带反射涂层

• 激光二极管上的AR涂料

• 光纤上的涂料

• 低缺陷和低光损失涂料

• 多层过滤器（> 100层），对精确和厚度控制的高要求

涂料质量：

• 涂料的缺陷低

• 低散射和吸收损失

• 高激光伤害阈值（小）

• 低表面粗糙度

• 高密度

• 出色的粘附

• 对湿度的敏感性低

技术数据：