用于大规模生产的垂直内联真空系统。
Aurora-V是一种基于严格垂直底物加载的磁控溅射的内联真空涂料系统。
主要的区别特征是垂直位置的底物加载设计。
底物装在运输载体上，该运输载体沿着所有的夹具穿过真空负载锁的所有步骤和工艺走廊，有可能向后转或转移到另一个腔室或回到大气层以卸载涂层底物。
该解决方案具有以下优势：
足迹节省空间；
组织内部返回轨道并将其用于技术设备的可能性；
进行双侧涂层的可能性；
低颗粒溅射系统配置；
MTBM较长（维护之间的平均时间）；
由于恒定的真空，工作气体条件而引起的过程稳定性。
在Aurora涂料器上实现的主要过程：
ITO和其他TCO结构；
触摸行业的指数匹配ito；
盖玻片上的防反射涂料（AR）；
AR加抗指纹涂料（AR+AF）；
玻璃和塑料基板上的NCVM颜色涂料（PET）；
金属化涂层。
过程稳定性
我们内联涂料者的主要优点之一是出色的过程稳定性。以及标准化的参数以及定义和控制的圆柱磁控溅射站，Izovac通过设计运输系统来达到其出色的工艺稳定性，该运输系统在每个载体到达溅射站时在载体之间以零间隙移动载体。该解决方案有助于稳定地稳定等离子体的条件，并使反射式抗反射涂层可靠可靠且可重复。
知识
由于在Inline AR+AF工艺中进行的研发几年，因此我们开发了一个内联座椅，市场上具有出色的耐磨性涂层参数。
夹具描述
涂料系统分为两个部分：
清洁室中安装的真空室和加载/卸载表（配置为使用自动化系统运行）。标准Aurora设计是一端，这意味着加载和卸载是由一侧到流程走廊的一侧制成的，并具有转弯或转移室。可选的是，可以修改夹具的两端设计，而卸载和卸载是由相反侧进行的。底物固定在通过真空负载锁室的运输载体上，以持续的速度移动，彼此之间没有间隙。该工艺室配备了所有用于底物清洁，薄膜涂料和治疗后的设备（如果需要）。座椅控制是由HMI + PLC系统以全自动模式制成的。
控制系统可以与制造执行系统（MES）集成。
可用的一代
通过涂料区域尺寸Aurora-V在接下来的版本中可用：
Gen 5带有1100×1300毫米的涂料面积；
Gen 6具有1500×1850毫米的涂料面积；
Gen 8具有涂料面积2200×2500毫米。
可以讨论其他变化（不是标准）。
生产率
与涂料面积大小一起，定义生产率的主要参数是循环时间（或在输送机产生中的触发时间）。这是两个载体卸载涂层底物的时间。
对于Aurora-V平台，极限的周期时间是45秒。
具有模块化设计Aurora夹具结构的可用涂层过程
可以缩放并优化不同的生产任务。
可以使用以下技术设计：
离子光束清洁系统；
RF血浆清洁系统；
平面磁铁溅射站（DC或AC）；
圆柱旋转磁控蛋白溅射站（DC或AC）；
RF登录；
AF蒸发系统（抗指层涂料系统）；
光学监控。
基板类型：