大规模生产的倾斜真空系统
Aurora-i是垂直涂料设计中的内联真空涂料系统，其中将ubstrate装在运输载体上，与垂直轴的角度为7-10度。
底物装在运输载体上，该运输载体沿着所有的夹具穿过真空负载锁的所有步骤和工艺走廊，有可能向后转或转移到另一个腔室或回到大气层以卸载涂层底物。
该解决方案允许将垂直设计（低粒子过程）的优势与水平载荷的优势相结合，而在非生产性（无涂层区域）面积的优势接近或等于零。
该解决方案具有以下优势：
足迹节省空间；
组织内部返回轨道并将其用于技术设备的可能性
进行双侧涂层的可能性；
低颗粒溅射系统配置；
MTBM较长（维护之间的平均时间）；
由于恒定的真空，工作气体条件而引起的过程稳定性。
在Aurora涂料器上实现的主要过程：
ITO和其他TCO结构；
触摸行业的指数匹配ito；
盖玻片上的防反射涂料（AR）；
AR加抗指纹涂料（AR+AF）；
玻璃和塑料基板上的NCVM颜色涂料（PET）；
金属化涂层。
流程稳定性
我们内联涂料者的主要优点之一是出色的过程稳定性。以及标准化的参数以及定义和控制的圆柱磁控溅射站，Izovac通过设计运输系统来达到其出色的工艺稳定性，该运输系统在每个载体到达溅射站时在载体之间以零间隙移动载体。该解决方案有助于稳定地稳定等离子体的条件，并使反射式抗反射涂层可靠可靠且可重复。
在Inline AR+AF工艺中的研发几年导致的专业知识使我们在市场上开发了具有出色的磨损抗性涂料参数的内联座椅。
夹具描述
涂料系统分为两个部分：
清洁室中安装的真空室和加载/卸载表（配置为使用自动化系统运行）。标准的Aurora设计是一端，这意味着从一侧到流程走廊，加载和卸载是将其卸载，并具有转弯或换档室。可选的是，可以修改夹具的两端设计，而卸载和卸载是由相反侧进行的。基板固定在通过真空载荷锁室的运输载体上，以持续的速度移动并且彼此之间没有差距。该工艺室配备了所有用于底物清洁，薄膜涂料和治疗后的设备（如果需要）。座椅控制是由HMI + PLC系统以全自动模式制成的。
控制系统可以与制造执行系统（MES）集成
可用的一代
通过涂料区域尺寸Aurora-I在接下来的版本中可用：
Gen 4.5，涂料面积650×1200毫米；
Gen 5带有涂料面积1100×1300毫米。
可以讨论其他变化（不是标准）。
生产力
与涂料面积大小一起定义生产率的主要参数是循环时间（或类似于输送机产量中的触发时间）。这是两个载体卸载涂层底物的时间。
对于Aurora-I平台，最短的周期时间是45秒。
具有模块化设计Aurora-i夹具结构的可用涂层过程
可以缩放并优化以适应不同的生产任务。
可以使用以下技术设计：
离子光束清洁系统；
RF血浆清洁系统；
平面磁铁溅射站（DC或AC）；
圆柱旋转磁控蛋白溅射站（DC或AC）；
RF登录；
AF蒸发系统（抗指层涂料系统）；
光学监控。
基板类型：