用于大规模生产的水平直线真空系统
Astra-M是一种基于水平底物加载的磁控溅射的内联真空涂料系统。
主要的区别特征是在水平位置的基材加载。底物加载在运输载体上，该运输载体沿着所有夹具通过真空负载锁和工艺走廊的几个步骤移动。载体正在通过真空负载锁室进入大气。在大气中起作用的返回输送机之后，载体返回加载区域。它的标准化设计位于工艺室下方以节省空间。
该解决方案具有以下优势：
缺点是底部到底溅射设计，可导致磁铁站的基板上的颗粒风险。为了消除此问题，维护（MTBM）之间的时间变短。
生产力
与涂料面积大小一起定义生产率的主要参数是循环时间（或类似于输送机产量中的触发时间）。这是两个载体卸载涂层底物的时间。
对于Astra-M平台，极限的周期时间为45秒。
在Astra上实现的主要过程- M 涂料者：
ITO和其他TCO结构；
触摸行业的指数匹配ito；
盖玻片上的防反射涂料（AR）；
AR加抗指纹涂料（AR+AF）；
玻璃和塑料基板上的NCVM颜色涂料（PET）；
金属化涂层。
流程稳定性
在线涂料者的主要优点之一是出色的过程稳定性。除了标准参数以及众所周知的循环磁铁溅射站，Izovac通过组织运输系统时达到了出色的稳定性，当携带者在前OD溅射站时彼此之间的间隙为零。该溶液稳定了频率，使反射涂层可靠可靠且可重复。
夹具描述
涂料系统由2个部分组成：真空室和装载/卸载表（可以为自动化系统配置）安装在干净的房间中。标准的Astra设计是一端，这意味着从一侧进行装载和卸载，在座椅的末端，有升降机将载体从真空室移动以返回输送机和返回。装载和卸载时，可以修改可选的夹具，以进行两端设计。返回的输送机具有无灰尘的封闭设计，所有座椅都可以安装在机器区域。底物被加载在穿过真空负载锁室的传输载体上，以便持续速度移动，彼此之间没有间隙。工艺室配备了所有必要的技术系统，用于底物清洁，如果需要，薄膜涂料和上场。座椅控制是由HMI + PLC系统以全自动模式制成的。控制系统可以与制造执行系统（MES）集成
下一个版本将提供涂料区域大小Astra-M的可用生成：
可以讨论其他变化（不是标准）。
具有模块化设计Astra夹具结构的可用涂层工艺
可以缩放和优化，以实现不同的生产任务。
可以使用以下技术设计：
离子光束清洁系统；
RF血浆清洁系统；
平面磁铁溅射站（DC或AC）；
圆柱旋转磁控蛋白溅射站（DC或AC）；
RF登录；
AF蒸发系统（抗指层涂料系统）；
光学监控。
基板类型：