用于实验室和小规模生产的水平直线真空系统
Astra-S是一种基于水平底物载荷的磁控溅射的真空涂料系统。在其基本配置中，它具有类似的原理与批处理器（在卸载以前的载体后进行每个加载时），但可以通过连续生产使用预定义的周期时间将其修改为内联模式。
底物水平加载在运输载体上，该运输载体从加载台移动到处理室槽负载锁。在过程中，室内载体在技术设备（木磁铁站，离子梁清洁站等）前进行扫描运动。过程完成后，载体返回大气层进行卸载。
Astra-s的设计思路是：
- 创建一个小型夹具，重复并执行与质量生产内联合线夹具完全相同的涂层条件；它提供了在类似条件下进行过程开发和生产配置的可能性，因此，以较短的时间生产能力损失了新过程的大规模生产；
- 提供可以从实验室开始与客户业务一起发展的解决方案。背后的想法是对具有较高吞吐量的生产夹具的修改。
生产力
作为实验室座椅，具有在基本版本中以所谓的扫描模式进行修改的小规模生产Astra-S的潜力。在这种情况下，生产力取决于层厚度（扫描数量）。
由于其模块化设计，可以通过在末端安装附加的工艺室和负载锁室来扩展Astra-S，从而可以将实验室座椅转换为生产座椅。
涂料器描述
Astra-S涂层系统由一个装载台和真空室（负载锁和工艺室）组成，这些桌子都安装在洁净室中。基本的Astra-S设计是一端，这意味着从一侧进行加载和卸载。它意味着仅在上一个完全完成后进行新的加载时，在基本配置中以批处理模式起作用。可选地，可以在加载和卸载相对侧进行装载和卸载时进行修改，并以预定义的周期时间在线模式下进行涂料过程。
因此，Astra-S的基本配置可以在生产夹具上进行修改，并显着增加吞吐量。
底物装在穿过真空负载锁室的运输载体上（溅射区域）。在过程中，室内载体使磁铁系统前面的扫描运动可获得必要的涂层厚度。
工艺室可以配备所有必要的技术系统，用于底物清洁，薄膜涂料和按需，如果需要。
座椅控制是由HMI + PLC系统以全自动模式制成的。
下一个版本可
在涂料区域大小的Astra-s涂层区域大小：
可以讨论其他变化（不是标准）。
具有模块化设计Astra-S夹具结构的可用涂层工艺
可以缩放和优化，以实现不同的生产任务。
可以使用以下技术设计：
离子光束清洁系统；
RF血浆清洁系统；
平面磁铁溅射站（DC或AC）；
圆柱旋转磁控蛋白溅射站（DC或AC）；
RF登录；
光学监控。