血浆增强的化学蒸气沉积（PECVD）系统，用于通过诱导排放血浆（ICP）激活工作气体的涂料系统（ICP）

特征：

• 涂料的出色粘附

• 与PVD方法相比，较高的沉积率

• 低温过程而不减少膜参数

• 电影合规

• 有可能在高水平均匀性的复杂形状的基板上制作涂料

• ICP阻抗匹配的全自动系统

• 更大的维护间隔（自我清洁功能）

• 各种各样的选项，有助于提高真空系统功能并使用ICP CVD的沉积方法实施各种任务

其他选项：

• 负载锁真空室，具有自动底物的机理，将加载到技术真空室

• 洗涤器进行排气清洁

• 有毒，易燃和爆炸气的气体柜

• 恒温器

• 加热技术真空室和管道的壁系统

• 实现极其干净的沉积过程的其他外部抽水电路

• 其他气体线

• 氮（N2）腔室填充系统

技术数据：

其他功能：

• 液体反应性化学物质供应系统

• 基材的静电夹

• 带有RF偏置的底物架设计，可以调整等离子体的能量光谱。

• 光学发射光谱

• 整合到干净的房间

• 底物热稳定系统，在基板底部供应氦气（HE）