血浆的系统增强化学蒸气沉积过程，具有电容耦合等离子体（CCP）

特征：

• 涂料的出色粘附

• 较高的沉积率

• 低温过程而不减少膜参数

• 在复杂形状的基材上沉积涂料的可能性

• CCP阻抗匹配的全自动系统

• 更大的维护间隔（自我清洁功能）

• 各种各样的选项，有助于提高真空系统功能并通过PECVD的沉积方法执行各种任务

其他选项：

• 负载锁真空室，具有自动底物的机理，将加载到技术真空室

• 洗涤器进行排气清洁

• 有毒，易燃和爆炸气的气体柜

• 恒温器

• 实现极其干净的沉积过程的其他外部抽水电路

• 其他气体线

• 氮（N2）腔室填充系统

• 提供液体反应性化学物质的系统

技术数据：

其他功能：

• 基材的静电固定

• 基材低温冷却系统

• 基材恒温（HE）的基材恒温（HE）的系统

• 带有RF偏置的底物持有器设计，该设计允许调整等离子体的能量光谱

• 单波或宽带光学监测系统

• 光学发射光谱

• 激光干涉法

• 安装到干净的房间