具有高生产率的3D基板装饰金属化的真空系统

特征：

• 磁控溅射系统

• 离子光束清洁系统

• 至多安装4种技术设备的可能性

• 每个都有行星基板支架的两个门，每个门都可以提高系统的生产率

• 消除主绘画过程，金属化和最后一次保护性涂层之间的延迟，这有助于降低污染的风险。

• 有可能安装一个用于向腔室提供有机硅液体蒸气的系统

使用示例：

• 汽车行业（大灯反射器，镜子）

• 家具上的装饰涂料

涂层通过用离子束清洁量溅射磁铁溅射。真空单元有一个带有两个门的D形腔室。腔室的门配备了带有行星旋转机构的鼓型基材支架。在第二扇门的样品上溅射时，一扇门上的样品过载。

技术设备：

• 直流磁通

• 离子梁清洁来源