电感耦合等离子体（ICP）RF放电是通过流过水冷电感器（天线）的电流流动而激发的。应用于电感器的RF功率在真空室中产生了涡流电场，从而确保了血浆的产生。在低压的电感性高频排放中，高频发生器的功率分布在外部电路和等离子体的主动阻力之间，并且功率通过两个频道进入血浆：由于电型通过电能力（Antenna）和CapIsive and CapIse cen的cen脉络而存在的归纳频道，并且由于电流的影响而导致CAINMMA和CapIsma causme canmma canmme cau cau andme cau cau。

RF源是无电射线电感放电的平面（平面）或圆柱系统。网格系统可以用于提取（拉出）必要能量的离子。

应用：

RF等离子体源旨在启动和维持在真空技术系统中具有高均匀性的致密，低能等离子体或单能离子。

主要任务：

• 在微电子产生中抗性中亚微米结构的各向异性蚀刻；

• 半导体和杂化微电子产生中非缺陷功能介电薄膜的血浆化学沉积；

• 聚合涂层和新材料的合成；

• 用电感耦合等离子体分析质谱仪分析；

• 介电表面修饰用于应用新特性（例如亲水性）。

LIDIZ使用了RF铂源。

技术数据：