将离子梁（由一个具有定义能量和离子密度定义的特征的离子束（特定特征）定义为一定效应的表面的离子梁处理，将其定义为一定的效果。

操作气体的离子是产生的交叉电气和磁场，其加速度和能量是由于阳极 - 阴极内电势的差异而产生的。工作气电离产生的离子以及封闭磁场内的漂流电子产生的阳极层。设备包含此类物理原理称为阳极层加速器。

应用：

在不同的技术过程中，在各种真空系统（与在线类型中一样批处理）应用的环形层层加速器在使用高达250毫米的基层时，例如：表面的清洁，清洁，抛光和激活，精确的离子式蚀刻，对基质，iOntrate，ion-ion-ion-ion-ion-ion-fipers depsction depsction depscestion depscestion depscestion depsction。在一个真空周期中涂层沉积前涂抹时，初步的离子梁清洁是很有效的。

主要任务：

• 表面清洁和激活；

• 精确的抛光；

• 高密度的功能性薄膜的沉积：保护性，介电，类似钻石的，二层层的组成，来自多种材料

技术数据：