将离子梁（由一个具有定义能量和离子密度定义的特征的离子束（特定特征）定义为一定效应的表面的离子梁处理，将其定义为一定的效果。

操作气体的离子是产生的交叉电气和磁场，其加速度和能量是由于阳极 - 阴极内电势的差异而产生的。工作气电离产生的离子以及封闭磁场内的漂流电子产生的阳极层。设备包含此类物理原理称为阳极层加速器。

应用：

在各种真空系统（作为批处理和在线类型）中应用的阳极层加速器在不同的技术过程中，可处理250 mm至3 m的大型基质（有时更），例如：清洁，清洁，抛光和激活表面，精确的离子 - 孔蚀刻，膜片的效果，并辅助，并辅助，并辅助，并辅助辅助，并辅助。在一个真空周期中涂层沉积之前，初步的离子梁清洁是很有效的。

主要任务：

• 表面清洁和激活；

• 精确的抛光；

• 高密度的功能性薄膜的沉积：保护性，介电，类似钻石，复杂的层组成，这些材料各种材料的组成；

• 精确的蚀刻（从0.2微米的0.05微米精度的最小元素大小；宽度到高度比率超过30：1；调节光束角度与处理的表面有助于控制步骤的pro pro和沟渠配置）

线性阳极层加速器“ Luch”用于Diamanta，Elato，Atis，Ortus，Izolab，Izomet。