射频电子源（中源）RFN-25设计用于技术真空系统，以及离子源，通过发射与离子流并形成Quasi notral血浆束的电子流来减少和/或中和等离子体的体积或表面电荷。
设备：离子光束技术设备RFN-25的操作基于使用RF电感器的一般原理创建气体排放的原理，并使用拉电极。电感线圈在放电室周围缠绕，该腔室由介电材料组成，可渗透到RF场。该线圈从电源接收AC电压，然后由匹配单元调整。
通过绝缘子向排放室注入工作气体。气体通过涡流电离。电子通过阳极施加25 V的阳极。相同的阳极用来维持放电室内的放电。
将负偏置应用于收集器，该收集器吸引了放电室中形成的正离子。通过控制收集器电压，可以调整发射电流。

目的：
电子源用作由离子束设备的各种类型和模型发射的离子束的补偿器。它们通常被用作R3HFF离子源的一部分。

解决的问题：
- 离子束补偿的电子源以减少涂层缺陷。