自动单波光学控制系统的溅射过程

特征：

• 监视由于测量时间高速移动的底物

• 参考信号的校准消除了与膜沉积过程无直接相关的任何信号变化

• 用于近似测量数据的数学算法

• 层沉积过程的高精度停止

OCP软件的用户友好界面提供了以自动或手动模式操作过程的所有视觉信息。

技术数据：